机械工程学院邀请北京科技大学孙建林教授到院讲座

7月1日，机械工程学院举办学术讲座暨第十四期学术沙龙活动，邀请北京科技大学孙建林教授作题为“SiC晶圆制造加工与化学机械拋光工艺研究”的学术讲座。

讲座伊始，机械工程学院院长张红松对孙建林教授的到来表示热烈欢迎，并介绍了孙教授的基本情况及在其学术领域取得的研究成果。孙教授是北京科技大学材料科学与工程学院二级教授、博士生导师。主要从事材料成形摩擦、磨损与润滑理论、量子化学计算与分子动力学模拟等方面研究工作。完成或进行的有国家重点研发计划、国家自然科学基金、北京市自然科学基金、国家973、863、教育部、省市级和厂校协作项目多项。发表关于有色及黑色金属材料、加工、工艺润滑等方面科研论文270余篇，授权国家发明专利37项，学术专著和教材7本。

讲座中，孙建林教授首先介绍了SiC材料的特性及其在现代工业领域的广泛应用。详细阐述了SiC晶圆制造加工的主要工艺流程，包括定向切割、晶片粗磨、精研磨、机械抛光和化学机械抛光等工序。在化学机械拋光工艺方面，他重点讲解了该工艺的原理、技术难点以及解决方案，并分享了最新的研究成果和应用案例。此外，就SiC晶圆制造加工的未来发展趋势进行了展望。孙建林教授通过生动的案例和详实的数据，展示了机械拋光在机械工程、材料科学等领域的应用成果，让在座教师深刻感受到了科研的魅力。

随后，双方就科研项目申报、科研团队建设、工业软件应用等方面的问题进行了深入探讨，并在省级、国家级金相大赛等赛事合作达成了初步共识。此次讲座不仅拓宽了我院教师的学术视野，更激发了他们科研创新的热情。未来，我院将继续加强与国内外知名学者的交流与合作，推动我院科研工作的不断发展和创新。

（文/图：王成龙 审核：张红松 编辑：刘东海）